Cnews опубликовал планы по созданию литографа со стороны ИФМ РАН (Институт физики микроструктур). Устройство будет сопоставимо с Twinscan NXE:3400C
Сроки возможной разработки не указаны, стадия реализации проекта на сейчас — преднулевая, необходимо провести НИР и ОКР.
Ожидается, что при совпадении, в целом, параметров выпускаемых изделий с литографами ASML, у российской разработки будет ниже скорость производства пластин, что приемлемо, с учётом меньшего объёма рынка.
Но, что существенно, снизится сложность самой установки, благодаря снижению длины волны лазера и, как следствие, мощности, которая будет отличаться от изделий ASML на порядок вниз, о чём Н. Чхало рассказывает в своей статье в журнале «Стимул».
В целом, идеи Чхало не являются новыми — он их озвучивал в 2022-м году, так что можно предположить, что их оформление в виде плана разработок свидетельствует о желании ускорить фондирование проекта создания отечественного литографа.
Наши новости вы можете обсудить в Телеграм-канале Roem.ru >>>
Добавить Нет комментариев